 |
非制冷紅外探測器用BST薄膜的制備與性能研究 |
|
|
|
| 資料類型： |
PDF文件
|
| 關鍵詞： |
BST薄膜 射頻濺射 低溫沉積 紅外探測器 |
| 資料大?。?/td>
| 280K |
| 所屬學科： |
性能表征 |
| 來源： |
來源網(wǎng)絡 |
| 簡介： |
|
利用傳統(tǒng)陶瓷工藝制備出BST（65/35）倒筒靶，采用射頻濺射法沉積薄膜。開展了對Pt/Ti/SiO2/Si基底熱處理工藝與BST同質(zhì)緩沖層研究，總結出了可以確?；捉缑嫘阅芰己?、BST薄膜結構致密的工藝方法。介電性能測試表明：BST薄膜的介電常數(shù)約為60~70，介電損耗為1.5%~2.5%，居里溫度為284K，介電溫度系數(shù)（TCD）為0.5%。漏電流測試表明：在1MV/cm電場下，漏電流密度為1.910-6A/cm2。 |
|
| 上傳人： |
|
| 上傳時間： |
2007-07-12 17:35:25 |
| 下載次數(shù)： |
577 |
| 消耗積分： |
2
|
| 立即下載： |
|
|
| 友情提示：下載后對該資源進行評論，即可獎勵2分。 |
|
| 報告錯誤： |
1.下載無效
2. 資料明顯無價值
3. 資料重復存在 |
| |
|
|
| 你還沒有登錄，無法發(fā)表評論，請首先 |
 |
| 免責聲明：本站部分資源由網(wǎng)友推薦，來自互聯(lián)網(wǎng)，版權屬于原版權人，如果不慎侵犯到您的權利，敬請告知，我們會在第一時間撤除。本站中各網(wǎng)友的評論只代表其個人觀點，不代表本站同意其觀點。 |
|
|
|
|
