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微電子材料在微塑成形中的尺度效應(yīng) |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關(guān)鍵詞： |
微塑性成形 微電子材料 尺度效應(yīng) 流動(dòng)應(yīng)力 塑性應(yīng)變梯度 |
| 資料大小： |
274K |
| 所屬學(xué)科： |
分子表征 |
| 來源： |
2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢) |
| 簡介： |
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微電子材料在微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展中越來越受到青睞，但是其工藝加工的不足限制了實(shí)際應(yīng)用的步伐。微塑性成形可以成形微電子器件，由于其尺寸微型化，在微塑性成形中存在一個(gè)不可避免的“尺度效應(yīng)”問題，尺度效應(yīng)表現(xiàn)在材料的流動(dòng)行為、成形中摩擦效應(yīng)和實(shí)驗(yàn)結(jié)果的分散性上。在介紹尺度效應(yīng)的基礎(chǔ)上對(duì)其進(jìn)行了分類，給出了判斷標(biāo)準(zhǔn)，并從流動(dòng)應(yīng)力、晶粒尺度、摩擦效應(yīng)和溫度效應(yīng)等方面綜述了尺度效應(yīng)對(duì)微塑性成形的影響。由于基于連續(xù)介質(zhì)的傳統(tǒng)塑性力學(xué)理論無法解釋微塑性成形過程中的尺度效應(yīng)，因此引入了非均勻介質(zhì)的塑性應(yīng)變梯度理論并進(jìn)行了探討，最后指出了尺度效應(yīng)的研究發(fā)展方向，從而促進(jìn)微電子材料的開發(fā)應(yīng)用。 |
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| 作者： |
王勻，孫日文，許楨英，張凱，袁國定
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| 上傳時(shí)間： |
2008-08-26 14:48:20 |
| 下載次數(shù)： |
41 |
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| jianqqq 2008-12-08 22:24:10 |
| 微尺度效應(yīng)要研究透徹不容易，很有幫助，3x |
| balance.sj 2008-09-23 17:35:46 |
| 對(duì)我很有幫助，謝謝 |
| balance.sj 2008-09-23 17:35:43 |
| 對(duì)我很有幫助，謝謝 |
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